选择性化学气相沉积 (SE CVD)

抗氧化和腐蚀的保护

CVD 是用化合物释放的单一金属来强化组件表面的涂覆技术。许多不同的涂层技术都可以生产化学气相涂层。苏尔寿提供这些技术,使您的设备更加可靠。

化学气相沉积 (CVD) 涂层已被运用多年,我们已经开发了几种技术,包括:
 

  • 包埋:最早用于叶片的方法。在粉末混合物中,在镀铝表层下方采用铝强化零件表面。
  • 拆包(气相):在这个后来开发的工艺中,粉末混合物和零件分离。形成了冷却通道内部涂覆的可能性。
  • 真正的 CVD:开发了低压系统,为内部通道提供最佳涂层。在该系统中,活性铝化合物在涂覆炉外产生并在低压下进行涂覆。
涂层组件具有更好的耐磨性

可以通过真正的 CVD 工艺生产两种不同的铝化物涂层:高活性和低活性涂层。区别是由扩散行为的差异引起的:

  • 对于铝 (Al) 大于 50 at% (= 29 weight%)的高活性涂层,通过铝的向内扩散形成涂层
  • 对于铝 (Al) 小于 50 at% (= 29 weight%)的低活性涂层,通过镍的向外扩散形成涂层。

这种类型 CVD 涂层的性能高度取决于基材的化学性质,特别是高活性涂层。

改性铝化物

为了改善性能,用其他元素对铝化物扩散涂层进行改性。 

在铂 (Pt) 改性涂层中,首先通过电镀涂覆 Pt,然后进行扩散处理和扩散涂层。这就产生富含 PtAl 的外表面,其热稳定性更佳,并且具有更好的腐蚀和氧化性能。

涂层可提高耐腐蚀性

有两种不同类型的 PT 改性涂层:

  • 单相 PtAl 涂层仅具有一个 PtAl 相的外层。Al 含量低 (22 - 25%),并且以低活性铝扩散工艺(主要是气相)生产。这种类型在较高温度下具有更好的抗氧化性,非常适合作为 EB-PVD 热障涂层的结合层。
  • 两相 PtAl 涂层具有混合 PtAl / NiAl 外层,Al 含量较高。涂层主要用高活性和中活性 Al 扩散工艺生产。这种类型具有更好的耐热腐蚀性。
通过用 NiPd 电镀,然后进行扩散处理和铝扩散涂层来生产镍 - 钯 (NiPd) 改性涂层。镍的添加使得该涂层较少依赖于基材。
 
可以使用扩散工艺首先涂覆硅 (Si),或者可以使用浆料或扩散工艺共沉积硅。这种类型具有更好的耐热腐蚀性。
 
铬 (Cr) 可以使用单独的 CVD 工艺涂覆,然后是铝扩散涂层。该混合涂层具有更好的耐腐蚀性。
 
苏尔寿在全球许多地方拥有设备和专业知识,可以对您的组件进行耐磨和耐腐蚀涂层处理。我们帮助您提高设备可靠性和性能。
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